具有納米壓印樹脂和納米顆粒的衍射波導

（中國AI網(wǎng) 2025年06月27日）納米壓印光刻（NIL） 這種制造納米結構的微納加工技術使用一個帶有納米圖案的硬模板，像蓋章一樣將圖案壓印到一層柔軟的樹脂（光刻膠），從而在樹脂復制出納米結構。NIL是制造衍射波導中核心衍射光學元件的關鍵技術，因為它能高效、低成本地復制高精度、復雜的納米光柵結構。

通過在樹脂中摻雜納米尺度的顆粒，這可以幫助調(diào)控樹脂的光學性質(zhì)，特別是提高折射率和折射率差。利用納米壓印技術，把含有能提升性能的納米尺度顆粒的樹脂壓印成波導所需的精細納米結構（光柵），可以實現(xiàn)高性能、輕薄、可量產(chǎn)的AR/MR顯示光學器件。在一份專利申請中，谷歌就介紹了相關的解決方案。

圖1示出了一種波導100。在一個實施例中，可以在波導的一側(cè)或兩側(cè)應用注入納米顆粒的NIL材料層102。波導100包括IC 104，可選EPE 106和OC 108。IC 104配置為接收來自光引擎（未示出）和/或另一光源的顯示光110。在包括EPE的配置中，EPE 106配置為增加顯示出瞳的大小。IC 104的位置通常與EPE 106的位置綁定，亦即IC 104與EPE 106是一致的。所述OC 108配置成將所產(chǎn)生的顯示光110指向用戶的眼睛112。

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